Вольтамперметры, ампервольтметры

4200A-SCS-PK1 — система измерения параметров полупроводников (комплект для измерения ВАХ с высоким разрешением)

Код товара: 45006
    • Гарантия

      12 месяцев

    • Производитель

      Keithley, США

    Описание системы измерения параметров полупроводников (комплект для измерения ВАХ с высоким разрешением) 4200A-SCS-PK1:

    Комплект для измерения ВАХ с высоким разрешением 4200A-SCS-PK1. В состав комплекта входят: 4200A-SCS (1 шт) - базовый блок параметрического анализатора; 4200-SMU (2 шт) - измерительный модуль средней мощности; 4200-PA (1 шт) - токовый предусилитель; 8101-PIV (1 шт) - оснастка для подключения тестируемых компонентов.

    Система 4200A-SCS – универсальная система для измерения вольт-амперных характеристик I-V на постоянном токе, С-V метрии (снятие вольт-фарадных характеристик) на переменном токе и в импульсном режиме для полупроводниковых приборов и тестовых структур на пластине в полупроводниковом производстве.

    Система имеет модульную многоканальную архитектуру и настраиваемую конфигурацию, поддерживая до 9 измерительных и дополнительных модулей.

    Система измерения параметров полупроводников 4200A-SCS - это комплекс аппаратных и программных средств:

    Назначение системы измерения параметров полупроводников (комплект для измерения ВАХ с высоким разрешением) 4200A-SCS-PK1:

    • Измерение ВАХ в диапазоне токов 0,1 фА до 1 А и напряжения от 1 мкВ до 210 В;
    • Измерения на переменном токе (C-V, C-f, C-t) в диапазоне до 420 В с разрешением 1 мВ, в частотном диапазоне от 1 кГц до 10 МГц;
    • Ультрабыстрое и импульсное тестирование с временным разрешением 5 нс;
    • Автоматическое переключение между режимом измерения ВАХ и CV-метрией.

    Особенности системы измерения параметров полупроводников (комплект для измерения ВАХ с высоким разрешением) 4200A-SCS-PK1:

    • Встроенная рабочая станция на базе ОС Windows 7;
    • Сенсорный 15,6" ЖК монитор высокого разрешения (1920x1080);
    • Шасси поддерживает до 9 измерительных модулей одновременно;
    • Опционально предусилитель малых токов для модулей средней и высокой мощности;
    • Измерение вольт-фарадных (C-V) характеристик с дифференциальным смещением ±60 В и в диапазоне частот от 1 кГц до 10 МГц, а также в квазистатическом режиме и ультранизкочастотную CV-метрию;
    • Опциональное измерение высоковольтных вольт-фарадных (С-V) характеристик в диапазоне дифференциального напряжения до 400 В;
    • Интерактивная интуитивно понятная пользовательская среда тестирования (Clarius) позволяет быстро решать задачи по управлению процессом измерения и тестирования;
    • Библиотека до 450 стандартных тестов;
    • Широкий набор интерфейсов и портов: USB, SVGA, Printer, GPIB, Ethernet, mouse, Keyboard.

    Измерительные модули:

    Измерительные модули предназначены для снятия ВАХ на постоянном токе в четырехквадрантной области (измерение/генерация). Они устанавливаются в слоты базового блока системы 4200-SCS. На одно шасси 4200-SCS возможно установить до 9 измерительных модулей 4210-SMU или 4200-SMU.

    Модули средней мощности 4200-SMU:

    • 7 токовых диапазонов для генерации и измерения:
      от 100 нА (полная шкала) до 100 мA (полная шкала).
      Разрешение:
      от 100 фA до 100 нA – в режиме измерения;
      от 5 пA до 5 мкА - в режиме генерации.
    • 4 вольтовых диапазона для генерации и измерения:
      от 200 мВ до 200 В.
      Разрешение:
      от 1 мкВ до 200 мкВ - в режиме измерения;
      от 5 мкВ до 5 мВ - в режиме генерации.
      Максимальное выходное напряжение:
      21 В при токе 100 мА;
      210 В при токе 10 мА.
    • Опциональный токовый предусилитель 4200-PA расширяет токовые диапазоны дополнительно:
      Диапазоны : 1 пА, 10 пА, 100 пА, 1 нА, 10 нА.

    Модули большой мощности 4210-SMU:

    • 9 токовых диапазонов для генерации и измерения:
      от 100 нА (полная шкала) до 1 A (полная шкала).
      Разрешение:
      от 100 фA до 1 мкA – в режиме измерения;
      от 5 пA до 50 мкА - в режиме генерации.
    • 4 вольтовых диапазона для генерации и измерения:
      от 200 мВ до 200 В.
      Разрешение:
      от 1 мкВ до 200 мкВ - в режиме измерения;
      от 5 мкВ до 5 мВ - в режиме генерации.
      Максимальное выходное напряжение:
      21 В при токе 1 А;
      210 В при токе 10 мА.
    • Опциональный токовый предусилитель 4200-PA расширяет токовые диапазоны дополнительно:
      Диапазоны : 1 пА, 10 пА, 100 пА, 1 нА, 10 нА.

    Токовый предусилитель 4200-PA:

    Расширяет токовые диапазоны дополнительно:
    1 пА, 10 пА, 100 пА, 1 нА, 10 нА.

    CV- метрия. Измерение вольт-фарадных характеристик:

    С-V измерения в системе 4200- SCS осуществляются с помощью:

    • встраиваемой опции CV-метрии 4210-CVU;
    • опции расширения для проведения мощной CV-метрии 4200-CVU-POWER;
    • квазистатическим методом CV-метрии при помощи модулей 4200-SMU или 4210-SMU
      с опцией 4200-PA;
    • новым патентованным методом ультранизкочастотной CV-метрии (10 мГц...10 Гц) при помощи модулей 4200-SMU или 4210-SMU с опцией 4200-PA.

    Опция CV-метрии 4210-CVU может быть установлена в систему которая уже эксплуатируется или заказана при первоначальной комплектации системы.

    Встроенный C-V модуль обеспечивает C-V измерения с параметрами:

    • тестовый сигнал:
      частотный диапазон от 1 кГц до 10 МГц;
      разрешение тестового сигнала 1 кГц, 10 кГц, 100 кГц, 1 МГц в зависимости от диапазона;
      точность частоты ±0,1%;
      выходной уровень 10 мВ...100 мВ;
      разрешение 1 мВскз;
      точность±(10%+1 мВскз)
    • внутренний источник постоянного смещения:
      диапазон ±30 В (60 В диф.);
      разрешение 1 мВ;
      точность±(0,5%+5 мВ);
      максимальный ток 10 мА;
    • режим свипирования:
      параметры свипирования: постоянное смещение, частота, переменное напряжение;
      закон: линейный,пользовательский;
      направление: вверх, вниз;
      количество точек: 4096;
    • измеряемые параметры: Cp-G, Cp-D, Cs-Rs, Cs-D, R-jX, Z-Theta;
    • выходные интерфейсы: 4 SMA (female).

    Высокоскоростная цифровая архитектура позволяет строить графики С-V в режиме реального времени.

    4210-CVU содержит широкий набор образцов программ, библиотек тестов и примеров экстракции параметров:

    • Стандартная C-V метрия: для обычных МОП-транзитовов, диодов и конденсаторов;
    • MOScap: Измерение C-V на МОП-конденсаторах;
    • MOSFET: Измерение C-V на МОП-транзисторах;
    • Время жизни: Определение скорости генерации и время жизни носителей, (график Зебрста) для МОП-конденсаторов;
    • Мобильные ионы: Определение подвижного заряда с помощью измерений на разных темепературах;
    • Емкость: Снятие характеристик как C-V так и C-f (от частоты) на МИМ (металл –изолятор –металл) конденсаторах;
    • PNjunction: Измерение емкости p n перехода или диода Шоттки как функции приложенного постоянного смещения;
    • Photo Voltaic cell: Измерение как прямой так и обратной характеристики ячеек солнечных батарей cell;
    • BJT: Измерение емкости (при нулевом смещении) между выводами биполярного транзистора (База-эммитер, База-коллектор, Эммитер-коллектор);
    • I-V/C-V с переподключением: Демонстрация с использованием измерительных модулей SMUs, опции CVU, и переключательных матриц and 707A/708A в одном проекте;
    • Емкость межсоединений: Измерение C-V малой межконтактной емкости на подложке;
    • Нанопроволоки: Проведение C-V измерений на двухвыводном приборе на базе нанопроволоки;
    • Flash: Проведение C-V измерений на типичном приборе памяти на базе плавающего затвора.

    Опция расширения для проведения мощной CV-метрии 4200-CVU-PWR:

    • Диапазоны измерения от 1 пФ до 1 нФ;
    • Тестовый сигнал от 100 кГц до 10 МГц (10 мВ...100 мВ);
    • Источник постоянного смещения ±200 В (400 В диф.) с разрешением 5 мВ;
    • Максимальный ток 100 мА (для 4200-SMU) или 300мА (для 4210-SMU);
    • Измеряемые параметры: Cp-Gp, DCV, временные метки;
    • Поддержка до 4-х SMU.

    4200-CVU-PWR применяется для тестирования:

    Квазистатический способ CV-метрии:

    • Два модуля 4200-SMU или 4210-SMU с опцией 4200-PA;
    • Низкий уровень шумов благодаря уникальному методу Ramp Rate;
    • Поддержка постоянного смещения ±200 В;
    • Библиотеки тестов.

    Применяется для тестирования:

    • CMOS малой мощности;
    • некоторые типы дисплеев (индикаторов);
    • различные устройства с низким током утечки.

    Ультранизкочастотная CV-метрия:

    • Два модуля 4200-SMU или 4210-SMU с опцией 4200-PA (частота 10 мГц...10 Гц);
    • Сверхнизкий уровень шумов;
    • Диапазон измерения от 1 пФ до 10 нФ;
    • Экстракция:Cp-Gp, Cp-D, Cs-Rs, Cs-D, R-jX, Z-Theta, DCV, частота, временные метки.

    Применяется для тестирования:

    • CMOS;
    • органическая электроника (OLED, OFET, OPVC);
    • устройства памяти;
    • тонкопленочные транзисторы (TFT).

    Для автоматического переключения между измерениями ВАХ и CV-метри и доступен модуль 4200A-CVIV.

    Кроме того, CV-метрия может быть добавлена в любой выходной канал не изменяя текущее подключение кабелей. Любой канал может быть сконфигурирован пользователем для измерений малых токов с использованием предусилителя 4200-PA или со стандартным разрешением для SMU при измерении токов - через 4200A-CVIV-SPT.

    • Входные разъемы:
      4200-PA: D-Sub (male), 15 pin;
      4200-CVIV-SPT: 2 триаксиальных (Female)на модуль;
      CVU: 4 SMA (female);
    • Выходные разъемы:
      8 триаксиальных (female);

    • Выходные канал: конфигурирование от 1 до 4;

    • Максимальное напряжение 210 В;
    • Максимальный ток 1А.

    Ультрабыстрое тестирование:

    В системе 4200-SCS доступно два вида генераторов импульсов:

    • Генератор импульсов типа 4220-PGU;
    • Модуль ультрабыстрого тестирования 4225-PMU.

    Обе модели поддерживают:

    • Два выходных канала;
    • Стандартный (2-уровневый) импульс;
    • Segment Arb:
      макс. количество сегментов 2048;
      макс.количество последовательностей 512;
      длительность сегмента от 20 нс до 40 с;
      разрешение 10 нс;
    • Формирование сигнала произвольной формы;
    • Каждый выходной сигнал имеет два диапазона выхода:
      10 В (высокий импеданс; 5 В с 50 Ω);
      40 В (высокий импеданс; 20 В с 50 Ω);
    • Выходные разъемы:
      4 SMA (female);
      2 HDMI (только для 4225-PMU).

    Модель 4220-PGU является только двухканальным генератором импульсов напряжения.

    Модуль ультрабыстрого тестирования 4225-PMU выполняет:

    импульсное тестирование: генерация импульса/измерение (аналогично работе измерительных модулей);

    переходная ВАХ: захват формы; интегрированные измерения тока и напряжения во времени;

    импульсный генератор: двух и мультиуровневый импульс; генерация сигналов произвольной формы; генерация пользовательской формы сигнала из сегментов Segment ARB.

    Модуль предусилителя/коммутатора 4225-RPM используется для автоматического переключения между измерениями ВАХ, CV-метрии и импульсными измерениями.

    Данный модуль расширяет диапазон измерения 4225-PMU для работы с малыми токами.

    • Входы SMU Force, SMU Sense, CVU Pot, CVU Cur, RPM Control;
    • Входные разъемы:
      2 триаксиальных (female);
      2 SMA (female);
      1 HDMI;
    • Выход - 1 канал;
    • Выходные разъемы:
      2 триаксиальных (female).

    Для ультрабыстрого тестирования NBTI/PBTI полупроводников рекомендуется опция 4200-BTI-A.

    Это идеальное средство автоматического тестирования не только на уровне подложки, но и при использовании кассет.

    Опция 4200-BTI-A включает в себя:

    • один модуль ультрабыстрого тестирования 4225-PMU;
    • два модуля предусилителей/коммутаторов 4225-RPM;
    • программное обеспечение для автоматического тестирования (ACS);
    • тесты для ультрабыстрого BTI тестирования;
    • комплект кабелей.

    Для проведения многоканальных измерений для системы 4200A доступно использование матричных коммутаторов: шестислотового 707B и однослотового 708B.

    Программные средства:

    Интерактивное программное обеспечение состоит из различных программных продуктов для обеспечения функционирования системы Keithley 4200A.

    Среди них:

    • Keithley Clear Straightforward Analysis (Clarius)—интерактивный пользовательский интерфейс для 4200A-SCS;
    • Keithley User Library Tool (KULT)—поддерживает создание и интеграцию программ на языке С и другие пользовательские алгоритмы в Clarus для использования 4200A-SCS. Требуется опция 4200-COMPILER;
    • Keithley Configuration Utility (KCON)—позволяет управлять по GPIB внешними устройствами, такими как: коммутаторами, внешними измерительными модулями, источниками-измерителями, установками зондового контроля, измерителями емкости, импульсными генераторами, осциллографами;
    • Keithley External Control Interface (KXCI)—приложение для управления системой 4200A-SCS от удаленного компьютера через GPIB;
    • KPulse графический пользовательский интерфейс(GUI) предоставляет альтернативные (без программирования) возможности по конфигурированию и управлению модулями 4225-PMU и 4220-PGU. Используется для проведения быстрых тестов без взаимодействия с другими модулями и ресурсами 4200A-SCS.

    Пользовательский интерфейс (Keithley Interactive Test Environment - KITE):

    Что позволяет данный интерфейс?

    • Даже неопытный пользователь может сразу без помощи программиста приступить к измерениям, которые займут немного времени;
    • Новый пользовательский интерфейс Clarius позволяет осуществить выбор из библиотеки в которой более чем 450 тестов, проектов и устройств для быстрого тестирования;

    • Быстро и правильно проводить тестирование благодаря встроенной системе помощи, которая включает подробное описание тестов, схему измерения и видеоролики;

    • Быстро установить параметры тестирования минимальным количеством кликов мыши с использованием нового представления "All Parameteкs" или графического представления;

    • Анализировать и систематизировать полученные результаты и не заботиться о потере данных;

    • Clarius поддерживает измерительные функции:

    > Прецизионные измерения (снятия ВАХ) на постоянном токе при помощи измерительных модулей 4200-SMU и 4210-SMU;

    > CV-метрию (измерение импеданса на разных частотах):
    Cp-Gp (шунтирующая емкость и проводимость),
    Cs-Rs (последовательное сопротивление и проводимость),
    Cp-D (шунтирующая емкость и коэффициент потерь),
    Cs-D (последовательное сопротивление и коэффициент потерь),
    R+jX (сопротивление и реактивное сопротивление),
    Z-theta (импеданс и фазовый угол),
    DCV (смещение постоянного напряжения),
    частота,
    временные метки на 4096 точек за свипирование

    > Ультрабыстрые ВАХ:
    одновременное измерение тока и напряжения в импульсном режиме;
    напряжение, ток и время одновременно оцифровываются в режиме захвата формы ( до 1 млн. точек оцифровки)

    Доступны два метода экстракции параметров: формульный редактор (выполняет трансформацию данных для автоматизации обработки и экстракции данных) и встроенная крупноформатная таблица в стиле Excel

    Пользователю доступны широкими возможностями масштабного управления для анализа:

    • экспорт в xls формат;
    • расширенный поиск;
    • большой набор математических функций;
    • библиотека основных тестов ВАХ;
    • библиотека тестов в области нанотехнологий
    • библиотека внешних инструментальных команд
    • встроенные тесты испытания на надежность
    • фабрично установленные константы.
  • Технические характеристики системы измерения параметров полупроводников (комплект для измерения ВАХ с высоким разрешением) 4200A-SCS-PK1:

    Диапазон тока Макс.напряжение Разрешение
    (измерение)
    Точность
    измерения
    ±(% от шкалы + А)
    Разрешение
    (генерация)
    Точность
    генерации
    ±(% от шкалы + А)
    Технические характеристики измерительных модулей
    4210-SMU 1 А 21 В 1 мкА 0,100% + 200 мкА 50 мкА 0,100% + 350 мкА
    100 мА 210 В 50 нА 0,045% + 3 мкА 5 мкА 0,050% + 15 мкА
    4200-SMU и 4210-SMU 100 мА 21 В 50 нА 0,045% + 3 мкА 5 мкА 0,050% + 15 мкА
    10 мА 210 В 5 нА 0,037% + 300 нА 500 нА 0,042% + 1,5 мкА
    1 мА 210 В 500 пА 0,035% + 30 нА 50 нА 0,040% + 150 нА
    100 мкА 210 В 50 пА 0,033% + 3 нА 5 нА 0,038% + 15 нА
    10 мкА 210 В 5 пА 0,050% + 600 пА 500 пА 0,060% + 1,5 нА
    1 мкА 210 В 500 фА 0,050% + 100 пА 50 пА 0,060% + 200 пА
    100 нА 210 В 50 фА 0,050% + 30 пА 5 пА 0,050% + 30 пА
    4200-SMU и 4210-SMU с опцией 4200-PA 10 нА 210 В 5 фА 0,050% + 1 пА 500 фА 0,060% + 3 пА
    1 н 210 В 1 фА 0,050% + 100 фА 50 фА 0,060% + 300 фА
    100 пА 210 В 300 аА 0,100% + 30 фА 15 фА 0,100% + 80 фА
    10 пА 210 В 100 аА 0,050% + 15 фА 5 фА 0,500% + 50 фА
    1 пА 210 В 10 аА 1,000% + 30 фА 1,5 фА 1,000% + 40 фА
    Диапазон напряжения Диапазон тока Разрешение
    (измерение)
    Точность
    измерения
    ±(% от шкалы + А)
    Разрешение
    (генерация)
    Точность
    генерации
    ±(% от шкалы + А)
    4200-SMU 4210-SMU
    200 В 10,5 мА 105 мА 200 мкВ 0,015% + 3 мВ 5 мВ 0,02% + 15 мВ
    20 В 105 мА 1,05 А 20 мкВ 0,01% + 1 мВ 500 мкВ 0,02% + 1,5 мВ
    2 В 105 мА 1,05 А 2 мкВ 0,012% + 150 мкВ 50 мкВ 0,02% + 300 мкВ
    200 мВ 105 мА 1,05 А 0,2 мкВ 0,012% + 100 мкВ 5 мкВ 0,02% + 150 мкВ
    Параметр Значение
    Выходные разъемы (4200-SMU, 4210-SMU) 3 минитриаксиальных (female: Force, Sence и Sence LO) на каждый SMU
    1 D-Sub (female, 15-pin) для подключения к 4200-PA
    Выходные разъемы (4200-PA) 3 минитриаксиальных (female: Force, Sence и Sence LO) на каждый SMU
    1 D-Sub (female, 15-pin) для подключения к 4200-PA
    Шум (типичное) генерация (ток/напряжение скз) 0,01% / 0,1% от полного диапазона
    измерение (ток/напряжение пик-пик) 0,02% / 0,2% от полного диапазона
    Максимкальная скорость нарастания 0,2 В/мкс
    CV- метрия. Измерение вольт-фарадных характеристик
    Частота Измеряемая емкость С точность G точность
    10 МГц 1 пФ ±0,92% ±590 нс
    10 пФ ±0,32% ±1,8 мкс
    100 пФ ±0,29% ±17 мкс
    1 нФ ±0,35% ±99 мкс
    1 МГц 1 пФ ±1,17% ±64 нс
    10 пФ ±0,19% ±65 нс
    100 пФ ±0,10% ±610 нс
    1 нФ ±0,09% ±4 мкс
    100 кГц 10 пФ ±0,31% ±28 нс
    100 пФ ±0,18% ±59 нс
    1 мкФ ±0,10% ±450 нс
    10 нФ ±0,10% ±3 мкс
    10 кГц 100 пФ ±0,31% ±15 нс
    1 нФ ±0,15% ±66 нс
    10 нФ ±0,08% ±450 нс
    100 нФ ±0,10% ±3 мкс
    1 кГц 1 нФ ±0,82% ±40 нс
    10 нФ ±0,40% ±120 нс
    100 нФ ±0,10% ±500 нс
    1 мкФ ±0,15% ±10 мкс
    Амплитудные характеристики генератора 4225-PMU и 4220-PGU
    Параметр Импеданс Диапазон 10 В Диапазон 40 В
    Амплитуда на выходе 50 Ом - 1 МОм -10 В...+ 10 В -40 В...+40 В
    50 Ом - 50 Ом -5 В...+ 5 В -20 В...+ 20 В
    Точность ±(0,5% + 10 мВ) ±(0,2% + 20 мВ)
    Разрешение 50 Ом - 1 МОм < 250 мкВ < 750 мкВ
    50 Ом - 50 Ом < 0,5 мВ < 1,5 мВ
    Уровень шума, скз (типичное) ±(0,3% + 1 мВ) ±(0,1% + 5 мВ)
    Выходной импеданс 50 Ом 50 Ом
    Временные и частотные характеристики генератора 4225-PMU и 4220-PGU
    Параметр Диапазон 10 В
    (только генерация)
    Диапазон 10 В
    (с измерением)
    Диапазон 40 В
    (только генерация)
    Диапазон 40 В
    (с измерением) для 4225-PMU
    Частотный диапазон 1 Гц...50 МГц 1 Гц...8,3 МГц 1 Гц...10 МГц 1 Гц...3,5 МГц
    Временное разрешение 10 нс 10 нс 10 нс 10 нс
    Джиттер, скз (типичное) 0,01% + 200 пс 0,01% + 200 пс 0,01% + 200 пс 0,01% + 200 пс
    Период 20 нс...1с 120 нс...1с 100 нс...1с 280 нс...1с
    Длительность импульса 10 нс...(период - 10 нс) 60 нс...(период - 10 нс) 50 нс...(период - 10 нс) 140 нс...(период - 10 нс)
    Программируемое
    время перехода
    10 нс...33 мс 20 нс...33 мс 30 нс...33 мс 100 нс...33 мс
    Временные и частотные характеристики генератора 4225-PMU и 4220-PGU
    Параметр Диапазон 10 В Диапазон 40 В
    Диапазон измерения тока 10 мА 200 мА 100 мкА 10 мА 800 мА
    Точность ±(0,25% + 100 мкА) ±(0,25% + 250 мкА) ±(0,25% + 1 мкА) ±(0,5% + 100 мкА) ±(0,25% + 3 мА)
    Шум 15 мкА 50 мкА 75 нА 5 мкА 200 мкА
    Измерение тока 4225-PMU с предусилителем/коммутатором 4225-RPM
    Параметр Диапазон 10 В
    Диапазон измерения тока 100 нА 1 мкА 10 мкА 100 мкА 1 мА 10 мА
    Точность ±(0,5% + 1 нА) ±(0,5% + 1 нА) ±(0,5% + 30 нА) ±(0,5% + 100 нА) ±(0,5% + 1 мкА) ±(0,5% + 10 мкА)
    Шум 200 пА 2 нА 5 нА 50 нА 300 нА 1,5 мкА
    Импульсные измерения 4225-PMU с 4225-RPM
    Импульс/Уровень 4225-PMU с 4225-RPM
    Выходное напряжение -10 В до +10 В
    Точность ±(0,5% + 10 мВ)
    Разрешение <0, 05 мВ
    Базовый шум ±(0,39% ± 1 мВ)скз
    Измерения напряжения 4225-PMU с 4225-RPM
    Параметр 4225-PMU с 4225-RPM
    Диапазон измерения 10 В
    Минимальная длительность импульса 100 нс
    Шум 1 мВскз
    Время установки 100 нс
  • Комплект поставки 4200A-SCS-PK1

    Наименование Количество
    1 Базовый блок параметрического анализатора 4200A-SCS 1
    2 Измерительный модуль средней мощности 4200-SMU 2
    3 Токовый предусилитель 4200-PA 1
    4 Оснастка для подключения тестируемых компонентов 8101-PIV 1